Фтороводородная кислота

Применятся для травления материалов полупроводниковой промышленности (кремниевых и кварцевых подложек).

HF используется в технологии изготовления интегральных схем для локального окисления канало-ограничительной области.

Характеристики получаемого продукта:

Наименование  показателя

Исходное сырье

 Результаты испытаний

ТУ 2612-028-6988698-2014 Образец 1 Образец 2

1

Массовая доля фтористоводородной кислоты (HF), %

46-49

49

49

Массовая доля примесей, не более:

%

ppm % ppm %

ppm

2

Алюминий (Al)

3 · 10-6

0,03 7 · 10-8 0,0007 2 · 10-8

0,0002

3

Барий (Ba)

2 · 10-6

0,02 1 · 10-8 0,0001 0

0,0000

4

Бор (B)

3 · 10-7

0,003 0 0,0000 0

0,0000

5

Висмут (Bi)

2 · 10-6

0,02 0 0,0000 0

0,0000

6

Железо (Fe)

2 · 10-6

0,02 1,5 · 10-7 0,0015 0

0,0000

7

Золото (Au)

1 · 10-7

0,001

8

Калий (K)

1 · 10-5

0,1 1,9 · 10-7 0,0019 1,3 · 10-7

0,0013

9

Кальций (Ca)

5 · 10-6

0,05 8,9 · 10-7 0,0089 1,21 · 10-6

0,0121

10

Кобальт (Co)

5 · 10-7

0,005 1 · 10-8 0,0001 1 · 10-8 0,0001

11

Кремний (Si)

1 · 10-3

10 1 · 10-7 0,0010 6 · 10-8

0,0006

12

Магний (Mg)

1 · 10-6

0,01 1,7 · 10-7 0,0017 1,8 · 10-7

0,0018

13

Марганец (Mn)

1 · 10-6

0,01 0 0,0000 0

0,0000

14

Медь (Cu)

2 · 10-7

0,002 0 0,0000 1 · 10-8

0,0001

15

Мышьяк (As)

5 · 10-6

0,05 8 · 10-8 0,0008 0

0,0000

16

Натрий (Na)

1 · 10-5

0,1 1 · 10-7 0,0010 9 · 10-8

0,0009

17

Никель (Ni)

3 · 10-7

0,003 3 · 10-8 0,0003 0

0,0000

18

Свинец (Pb)

5 · 10-7

0,005 0 0,0000 6 · 10-8

0,0006

19

Серебро (Ag)

1 · 10-7

0,001 1 · 10-8 0,0001 0

0,0000

20

Сурьма (Sb)

5 · 10-7

0,005 0 0,0000 0

0,0000

21

Титан (Ti)

5 · 10-7

0,005

6 · 10-8 0,0006 2 · 10-8

0,0002

22

Фосфор (P)

3 · 10-6

0,03 0 0,0000 0

0,0000

23

Хром (Cr)

3 · 10-7

0,003 0 0,0000 0

0,0000

24

Цинк (Zn)

1 · 10-6

0,01 7 · 10-8 0,0007 1,3 · 107

0,0013

25

Общая сера (S)

1 · 10-4 1,0 0 0,0000 0

0,0000

Чистота основного продукта (HF) / Purity of the main product (HF)  :

99,998 % 99,999998 %

99,999998 %

НПК Спектр предлагает комплект оборудования для очистки исходной кислоты HF до значений 99,999998 %

Другое оборудование и системы управления НПК "СПЕКТР"