Эффективное управление производством начинается на уровне цеха. Оптимизировать цеховое производство помогают специализированные системы автоматизации инженерной деятельности.
Использование таких систем позволяет:
Система управления цехом объединяет собой управление десятью установками для производства синтетического кристаллического кварца гидротермальным методом.
|
Параметры установки |
|
| Температура в зоне кристаллизации |
360ºС |
| Температура в питающей области |
400ºС |
| Давление в сосуде |
120МПа |
| Масса кристаллов |
До 3 кг |
| Количество кристаллов |
До 300 шт |
| Потребляемая мощность в режиме роста |
До 60 кВт |
| Время цикла роста кристаллов |
3-9 мес |
Система управления цехом обеспечивает:
Применятся для травления материалов полупроводниковой промышленности (кремниевых и кварцевых подложек).
В течение последних десятилетий для выращивания монокристаллов сапфира в основном применяют три метода: горизонтальная направленная кристаллизация (ГНК), Киропулоса и Степанова. Все методы основаны на выращивании кристаллов из расплавов.
Используется для синтеза высокочистого поликристаллического карбида кремния в электронной и электротехнической промышленности.