Поликристаллический порошок карбида кремния

Высококачественное сырье для синтеза монокристаллов карбида кремния модификаций 4H-SIC и 6H-SIC, применяемых в электронных приборах.

Мы предлагаем не только ростовые установки, но и сырье для проведения процессов роста, а именно поликристаллический порошок карбида кремния со следующими характеристиками:

Маркировка образца

 

Массовая доля примесей, не более ppm:

B

Al Ti

V

S190328027

0.16

1.6 2.1

0.38

*примесный состав определялся методом GDMS (масс-спектрометрия с тлеющим разрядом).

 

 

 

 

 

 

 

** фазовый состав синтезированного продукта определялся методом Х-лучевой дифрактометрии.

Комплекс технологического оборудования, разработанного НПК Спектр, позволяет осуществлять синтез поликристаллического карбида кремния из высокочистого кварца и высокочистого углерода (графита). В состав оборудования входят установки для получения кварца, для получения графита, для синтеза порошка и для последующего его отжига (удаления избыточного углерода).

Другое оборудование и системы управления НПК "СПЕКТР"

  • Фтороводородная кислота

    Применятся для травления материалов полупроводниковой промышленности (кремниевых и кварцевых подложек).

  • Системы управления цехом

    Эффективное управление производством начинается на уровне цеха. Оптимизировать цеховое производство помогают специализированные системы автоматизации инженерной деятельности.

  • Диоксид кремния (кварц)

    Используется для синтеза высокочистого поликристаллического карбида кремния в электронной и электротехнической промышленности.